경북대 산업현장 기술지원 HOT LINE CENTER
기본정보
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허영우 교수
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분야 |
첨단융합소재산업 |
|---|---|
단과대학 |
공과대학 |
학과(부) |
신소재공학부 |
전공분야 |
나노 재료 연구실 |
사업화가능아이템 |
* 투명산화물 반도체 박막 및 소자 * ZnO nanowires 제조 및 소자 * 투명 전극 박막화 기술 * Sensor * 형광체 |
기술협력 및 자문분야 |
* 투명 산화물 반도체박막성장, 공정, 및 특성제어기술 * 투명 전극 개발 (Display, 태양전지) * ZnO nanowires 합성 및 소자응용기술(sensor, nano TFTs) * 투명 산화물 TFT 기술 * 전자 재료 박막성장 기술 * e-beam lithography을 이용한 나노 소자 개발 * 형광체 분말 합성 기술 |
키워드 |
투명산화물 반도체, 투명전극, 나노선, 박막, 디스플레이, 태양전지, 전자재료, 센서 |
연구실위치 |
공대 8호관 318호 |
연구실소개 |
본 연구실은 반도체, 디스플레이, 에너지, LED, 투명전자소자, sensor 등에 적용할 수 있는 전자재료들의 박막화, 나노화, 물성제어, 공정기술, 전자소자화 및 적용등을 중심으로 다양한 연구를 진행하고 있습니다. 1. 투명산화물반도체의 박막화, n-type/p-type물성 제어, 및 투명전자소자화 (OLED/LCD용 투명TFT, LED, 태양전지) 연구 2. 투명전극 박막화 연구 3. 나노선(nanowires)합성 및 나노소자연구(nano-TFT, Nano-LED, Nano-sensor, etc.) 4. 태양전지용 산화물 나노재료 개발 5. 산화물반도체의 센서 특성연구 및 개발 |
학력정보
| 졸업년도 | 학교 | 전공 | 학위 |
|---|---|---|---|
| 1994 | 경북대학교 | 무기재료 | 공학사 |
| 1996 | 경북대학교 | 무기재료 | 공학석사 |
| 2003 | University of Florida | 재료공학 | 공학박사 |
주요경력
| 근무처 | 부서 | 근무기간 | 업무내용 |
|---|---|---|---|
| LG화학/기술연구원 | 신소재연구소 | 1996~2000 | PDP용 형광체 개발 |
| university of Florida | 재료공학과 | 2004~2004 | 나노재료 및 박막 |
| 한국진공학회 | 반도체 및 박막 | 2007 - | 분과위원 |
주요연구실적
| 연구실적 | 지원기관 | 수행연도 |
|---|---|---|
그린에너지효율향상을 위한 계면제어형 나노구조체 합성 및 특성 연구 |
과학기술부 | 2009.9 |
투명 CMOS 박막트랜지스터 소자 제작 및 특성분석 |
과학기술부 | 2007.9-2010.8 |
Flexible OLED 적용 투명 TFT 개발 |
산업자원부 | 2007.9-2010.6 |
센서용 금속산화물 합성기술 및 소자 개발 |
과학기술부 | 2008.8 – |
Co-doping법을 이용한 ZnO 박막의 특성 연구 |
경북대학교 | 2007.9-2008.10 |
밴드갭조절이 가능한 p형(Zn1-xMgx)0박막의 성장 및 특성연구 |
교육인적자원부 | 2006.7-2007.6 |
무연강유전세라믹스의 실용화를 위한 유전손실제어 |
과학기술부 | 2005.9-2006.8 |
고품위 ZnO 박막증착기술개발 및 특성에 관한 연구 |
경북대학교 | 2005.4-2006.3 |
핵심기술
| 분야명 | 핵심기술 | 이미지 |
|---|---|---|
투명산화물반도체박막 |
- 비정질 IZO, IGZO, ITZO을 이용한 Oxide TFT제조기술- n-type/p-type 투명산화물반도체 박막 성장 기술 | |
투명전극 |
ZnO, IZO, ITZO 투명전극박막제조기술 | |
ZnO Nanowires |
- e-beam lithography을 이용한 나노 소자제조기술 (ex. ZnO Nanowire-TFT 제조기술)- ZnO nanowire을 이용한 UV, H2, pH sensing 기술 | |
형광체 |
PDP용 형광체분말제조기술 |
보유장비 및 소프트웨어
| 장비/소프트웨어명 | 내용 |
|---|---|
| RF/DC Magnetron Sputtering | 박막성장 |
| Pulsed Laser Deposition | 박막성장 |
| Mask Aligner | Photolithography |
| Spin Coater | 소자공정용 |
| Rapid Thermal Annealing | 박막 열처리 |
| Gas Sensing System | 가스 센싱 특성 평가 |
| Tube Furnace | 재료합성 및 열처리 |
보유특허
| 특허명 | 대표발명가 | 보유연도 | 이전희망 |
|---|---|---|---|
N형 투명전도 박막을 스퍼터링 방법으로 증착시에 필요한 In2O3-ZnO-Sb2O5 계 타겟 조성 및 이의 제조방법 |
김정주, 이준형, 허영우, | 2008.6.11 |