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공과대학 산업현장 기술지원 HOT LINE CENTER

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기본정보

교수 사진
허영우 부교수
전화: 053-950-7587
팩스:053-950-5645
홈페이지:http://emd.knu.ac.kr
이메일:ywheo@knu.ac.kr
분야
첨단융합소재산업 
단과대학
공과대학 
학과(부)
신소재공학부 
전공분야
나노 재료 연구실 
사업화가능아이템
* 투명산화물 반도체 박막 및 소자 * ZnO nanowires 제조 및 소자 * 투명 전극 박막화 기술 * Sensor * 형광체  
기술협력
및 자문분야
* 투명 산화물 반도체박막성장, 공정, 및 특성제어기술 * 투명 전극 개발 (Display, 태양전지) * ZnO nanowires 합성 및 소자응용기술(sensor, nano TFTs) * 투명 산화물 TFT 기술 * 전자 재료 박막성장 기술 * e-beam lithography을 이용한 나노 소자 개발 * 형광체 분말 합성 기술  
키워드
투명산화물 반도체, 투명전극, 나노선, 박막, 디스플레이, 태양전지, 전자재료, 센서 
연구실위치
공대 8호관 318호 
연구실소개
본 연구실은 반도체, 디스플레이, 에너지, LED, 투명전자소자, sensor 등에 적용할 수 있는 전자재료들의 박막화, 나노화, 물성제어, 공정기술, 전자소자화 및 적용등을 중심으로 다양한 연구를 진행하고 있습니다. 1. 투명산화물반도체의 박막화, n-type/p-type물성 제어, 및 투명전자소자화 (OLED/LCD용 투명TFT, LED, 태양전지) 연구 2. 투명전극 박막화 연구 3. 나노선(nanowires)합성 및 나노소자연구(nano-TFT, Nano-LED, Nano-sensor, etc.) 4. 태양전지용 산화물 나노재료 개발 5. 산화물반도체의 센서 특성연구 및 개발 

학력정보

졸업년도 학교 전공 학위
1994 경북대학교 무기재료 공학사
1996 경북대학교 무기재료 공학석사
2003 University of Florida 재료공학 공학박사

주요경력

근무처 부서 근무기간 업무내용
LG화학/기술연구원 신소재연구소 1996~2000 PDP용 형광체 개발
university of Florida 재료공학과 2004~2004 나노재료 및 박막
한국진공학회 반도체 및 박막 2007 - 분과위원

주요연구실적

연구실적 지원기관 수행연도
그린에너지효율향상을 위한 계면제어형 나노구조체 합성 및 특성 연구
과학기술부 2009.9
투명 CMOS 박막트랜지스터 소자 제작 및 특성분석
과학기술부 2007.9-2010.8
Flexible OLED 적용 투명 TFT 개발
산업자원부 2007.9-2010.6
센서용 금속산화물 합성기술 및 소자 개발
과학기술부 2008.8 –
Co-doping법을 이용한 ZnO 박막의 특성 연구
경북대학교 2007.9-2008.10
밴드갭조절이 가능한 p형(Zn1-xMgx)0박막의 성장 및 특성연구
교육인적자원부 2006.7-2007.6
무연강유전세라믹스의 실용화를 위한 유전손실제어
과학기술부 2005.9-2006.8
고품위 ZnO 박막증착기술개발 및 특성에 관한 연구
경북대학교 2005.4-2006.3

핵심기술

분야명 핵심기술 이미지
투명산화물반도체박막
- 비정질 IZO, IGZO, ITZO을 이용한 Oxide TFT제조기술 - n-type/p-type 투명산화물반도체 박막 성장 기술
투명전극
ZnO, IZO, ITZO 투명전극박막제조기술
ZnO Nanowires
- e-beam lithography을 이용한 나노 소자제조기술 (ex. ZnO Nanowire-TFT 제조기술) - ZnO nanowire을 이용한 UV, H2, pH sensing 기술
형광체
PDP용 형광체분말제조기술

보유장비 및 소프트웨어

장비/소프트웨어명 내용
RF/DC Magnetron Sputtering 박막성장
Pulsed Laser Deposition 박막성장
Mask Aligner Photolithography
Spin Coater 소자공정용
Rapid Thermal Annealing 박막 열처리
Gas Sensing System 가스 센싱 특성 평가
Tube Furnace 재료합성 및 열처리

보유특허

특허명 대표발명가 보유연도 이전희망
N형 투명전도 박막을 스퍼터링 방법으로 증착시에 필요한 In2O3-ZnO-Sb2O5 계 타겟 조성 및 이의 제조방법
김정주, 이준형, 허영우, 2008.6.11